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光栅的工作原理
光栅尺位置监测系统由光源,长光栅尺(尺标光栅尺),短光栅尺(标示光栅尺)和光电器件等组成。依照光珊工作原理划分为散射直线式和莫尔条纹式光珊两个大类。
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